ASML 的关键供应商、德国蔡司集团半导体部门负责人罗蒙德称,中国在研发尖端光刻机设备方面仍落后约15年。他说,中国可能需要15年才能研发出 EUV 光刻机,这是一个“合理的估计”,但他补充说,由于相关技术进展难以量化,目前很难准确判断中国的实际水平。ASML 是世界上唯一一家能够商业化生产 EUV 光刻机的厂商,蔡司是其 EUV 光刻机所用光学系统的独家供应商。

ASML 的关键供应商、德国蔡司集团半导体部门负责人罗蒙德称,中国在研发尖端光刻机设备方面仍落后约15年。他说,中国可能需要15年才能研发出 EUV 光刻机,这是一个“合理的估计”,但他补充说,由于相关技术进展难以量化,目前很难准确判断中国的实际水平。ASML 是世界上唯一一家能够商业化生产 EUV 光刻机的厂商,蔡司是其 EUV 光刻机所用光学系统的独家供应商。
