先实话说，现在我们还没完全做到全链条脱离其他国家的技术。就拿上海微电子的28nm DUV光刻机来说，核心的浸没式透镜组不少高端镜片还是来自德国蔡司，工件台的高精度运动控制技术也有海外企业的技术积累痕迹，就连光刻胶的部分关键原料，目前国内供应链也还没完全实现100%自主替代。
要是回到十几年前国内半导体刚起步的节点，其实也很难做到一往无前。当时整个全球半导体产业链是完全开放的，国内多数厂商都觉得直接买ASML的成熟设备比砸几百亿自研划算太多，资本和人才都往快钱的封装测试、设计环节涌，根本没人愿意沉下心啃光刻机这种要熬二三十年的硬骨头。真要走通全自主路线，得提前布局材料、精密光学、超精密机械这十几个完全不赚钱的基础学科，放到当年的市场环境里，几乎没人愿意做这种长期看不到回报的投入。