Spacer 是栅极两侧的介电侧墙，它决定重掺杂源漏区与栅边之间的横向距离。Spacer 过薄时，重掺杂过于靠近栅极，会增强漏端高电场并增大栅—源漏重叠电容；Spacer 过厚时，轻掺杂延伸区变长，串联电阻上升、驱动能力下降。关键不只是名义厚度，还包括侧墙轮廓、左右对称性、刻蚀回刻损失与后续注入的横向偏移。通过截面量测、CD/轮廓和电学 Mapping 联合反馈，才能在可靠性、速度与良率之间取得平衡。
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