蔡司判断中国成熟的EUV光刻机还需15年，这个说的没错。 目前，我们国产DUV光刻机比预期早出来，大家都说已经进厂测试，不过，现在调试再到投产还有很长的路要走，按节奏来看，最快也要十年才有EUV工程样机。 （希望有另一种方式突围） ​