2月5日，半导体设备ETF（159516）开盘跌2.11%，报1.761元。半导体设备ETF（159516）重仓股方面，北方华创开盘跌1.61%，中微公司跌2.64%，拓荆科技跌3.47%，长川科技跌2.04%，沪硅产业跌1.28%，华海清科跌1.71%，中科飞测跌1.86%，南大光电跌1.61%，安集科技跌1.70%，芯源微跌1.94%。

半导体设备ETF（159516）业绩比较基准为中证半导体材料设备主题指数收益率，管理人为国泰基金管理有限公司，基金经理为艾小军，成立（2023-07-19）以来回报为79.62%，近一个月回报为16.66%。