2月4日，半导体设备ETF华夏（562590）开盘跌1.11%，报1.877元。半导体设备ETF华夏（562590）重仓股方面，北方华创开盘跌1.05%，中微公司跌0.97%，拓荆科技跌1.52%，长川科技跌1.27%，沪硅产业跌0.88%，华海清科跌0.89%，中科飞测跌0.04%，南大光电跌1.09%，安集科技跌1.40%，芯源微跌1.00%。

半导体设备ETF华夏（562590）业绩比较基准为中证半导体材料设备主题指数收益率，管理人为华夏基金管理有限公司，基金经理为单宽之，成立（2023-10-09）以来回报为89.76%，近一个月回报为17.40%。