科普一点DRAM的制程技术。DRAM采用的制程更接近逻辑芯片,不过相比数字逻辑芯片也有自己的制程名称。- 1x:17-19nm(三星 18nm、海力士 17.5nm、美光 17.5-19nm、长鑫 19nm)- 1y:14-16nm(三星 16nm、海力士 17nm、美光 16nm、长鑫 18nm)- 1z:11-14nm(三星 14nm、海力士 15nm、美光 14nm、长鑫 17nm)- 1α/1a:12-14nm(三星 13nm、海力士 13-14nm、美光 13-14nm、长鑫 15-16nm)- 1β/1b:10-12nm(三星 12nm、海力士 12nm、美光 12nm)- 1γ/1c:10-11nm(三星 11nm、海力士 10nm、美光 11nm)DRAM厂商没有直接标注纳米值,而是使用 1x/1y/1z/1α/1β/1γ 等代号,因为工艺复杂度增加,单一数值难以准确表征。从 1z/1α 节点三星和海力士开始引入EUV光刻技术,美光从 1γ 节点才首次应用,大幅提升工艺精度和良率;此外HKMG技术在 1a/1α 节点后广泛采用,显著降低漏电和功耗,提高性能。