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从半导体材料到离子注入机:先导基电“双赛道”协同突围

2026湾芯展期间,先导基电旗下广东先导微电子科技有限公司与凯世通联合参展。一家从上游高纯金属做到衬底、前驱体与电子特气,一家做高端离子注入机,分别落在材料与设备两个核心赛道。这不仅是两家公司的同台亮相,更是先导基电“材料+设备”全产业链布局的一次集中呈现。

在先导基电的产业版图中,先导微电子与凯世通分别承担着材料端与设备端的战略角色。前者是国内半导体材料领域领先企业,后者是国产离子注入机领先厂商。通过“外延并购+产业整合”,先导基电已构建起“半导体装备+核心零部件+新材料”三大板块,成为国内少有的同时覆盖上游核心材料与晶圆制造关键设备的半导体产业平台。

凯世通:垂直一体化,锻造国产离子注入机供应链竞争力

凯世通携最新技术与产品成果首次亮相湾芯展。活动期间,凯世通副总经理张长勇向全球半导体观察介绍,凯世通围绕离子束技术,近期推出了多款产品,包括面向先进工艺的Hyperion低能大束流离子注入机、面向化合物半导体等应用的iKing 360机型,以及面向先进工艺的Orion中束流机型。这些机型分别在逻辑、存储以及化合物半导体产线得到验证,部分机型已进入量产阶段。

在客户落地方面,Hyperion机型立足国内低能大束流先进工艺应用,在国内头部12英寸逻辑、存储晶圆客户产线快速验证并释放产能;iKing 360也成功交付国内先进光电芯片客户产线,助力异质集成光电芯片研发与制造。张长勇透露,凯世通新基地将陆续启动建设,为未来更大规模整机交付能力打下基础。

凯世通副总经理张长勇

当前,国产离子注入机竞争日趋激烈,越来越多头部设备厂商进入这一赛道。张长勇认为,凯世通与其他厂商的最大差异在于路线选择——凯世通走的是垂直一体化模式,而其他厂商更多是横向扩展。2024年进入先导科技集团体系后,集团为凯世通定向开发服务,从原材料、元器件、零部件、系统到整机,形成了一条垂直整合的链条。“这种模式更有利于技术快速迭代,供应链也更扎实、更有韧性。”张长勇表示。

对于未来一至两年的行业挑战,张长勇判断,供应链将是国产离子注入机厂商面临的挑战。随着AI快速发展,晶圆厂扩产需求迅猛,整个供应链出现“得供应链者得天下”的局面。为此,凯世通依托控股股东先导基电及先导科技集团在材料、零部件方面的优势,核心零部件基本实现国产化和自产化,同时快速储备静电卡盘、MFC等核心零部件,以提升接单和交付能力。

先导微电子:从金属源头出发,做材料端的全套方案

先导微电子携电子级高纯金属、化合物半导体衬底、半导体前驱体/MO源、电子特气等配套耗材亮相本次湾芯展。先导微电子销售总监黄昕向全球半导体观察表示,衬底业务是先导微电子最早起步的业务,已持续多年。砷化镓衬底覆盖国内外龙头及主流Micro LED、Mini LED、LED客户,以及射频和激光器芯片的客户;锗衬底主要应用于空间太阳能电池领域,覆盖国内外主要客户,以国内客户为主,同时覆盖红外光学、探测芯片等需求。“基本上一些龙头客户我们全部都覆盖到了。”黄昕说。

先导微电子销售总监黄昕

在先进存储用前驱体材料方面,先导微电子依托自身在金属方面的优势,开发了一系列产品。黄昕介绍,四氯化铪主要应用于存储High-k原料和逻辑High-k材料,在先进DRAM中用量尤其大,全球用量达大几十吨级。据悉,先导微电子是国内少数实现6N级四氯化铪稳定量产并规模化供货的企业,在全球具备量产能力的厂商中占据重要位置,存储领域供应链占比全球领先,并已进入海外客户供应链。另一款产品二氯二氧化钼应用于3D NAND,未来先进制程中很有机会替代六氟化钨。黄昕认为,参考六氟化钨的市场空间,二氯二氧化钼未来空间非常大,该产品前年已打入国内外领先3D NAND客户供应链。

电子特气方面,先导微电子走了一条与传统特气公司不同的路径。黄昕表示,先导微电子从上游金属往下游做,掌握上游金属资源,因此更依托自有金属优势来布局特气,重点聚焦硼、磷、砷、锗四种金属,产品覆盖锗烷、磷烷、乙硼烷、砷烷,主要应用于外延掺杂和离子注入掺杂等场景。“我们不会像其他公司所有特气都覆盖,而是有什么金属资源、有什么优势,就做什么特气。”黄昕说。

协同闭环:从单一产品到全套解决方案

先导微电子与凯世通的协同,并非简单的集团内部配套,而是围绕客户需求形成的一套闭环能力。

黄昕认为,协同优势首先体现在工艺联合验证上。客户需要的不是单一的特气、零部件或机台,而是一套解决方案。先导微电子有设备、有零部件、有原材料,可以在自己的设备上验证特气和前驱体产品,再给客户一套完整的方案。其次,客户资源可以共享。无论是零部件、特气、前驱体,还是凯世通的离子注入机,客户都是国内领先的半导体Fab厂。当前国内供应形势内卷,大客户希望缩减供应商数量,让有实力的供应商供应更多品类,先导恰好可以打包供应设备、零部件和原物料。第三,先导微电子拥有上游金属源头的优势。衬底、特气、前驱体所需的原料,很多可由集团上游金属提供,从源头把控金属资源,既能保障供应链稳定,也能从源头控制杂质和品相,满足客户的特殊要求。

两家公司在客户层面的重合度尤其高。黄昕透露,凯世通和先导微电子的半导体客户性质一致,重合度非常高。特气中的锗、磷、硼、砷都是凯世通掺杂环节需要的元素,零部件中的MFC等产品,也主要配套凯世通设备。至少在离子注入板块,先导微电子可以提供一套完整的解决方案。他补充,虽然先导微电子今年8月才并入先导基电,但2024年底凯世通被先导集团控股后,双方就已展开合作,特气和零部件在凯世通进行了多款验证,并通过凯世通送到客户处,已有实际落地。

结语

从两家公司此次披露的进展来看,国产半导体材料与设备正在进入一个更强调体系能力的阶段。凯世通把供应链视为未来竞争的关键,先导微电子则把上游金属资源视为材料端稳定输出的根基。两种判断指向同一个方向:单点突破之外,产业链纵向整合的能力正在成为新的分水岭。

对于国产半导体产业而言,材料与设备的协同从来不是一句口号。先导基电通过双赛道布局,正在尝试把这两端真正打通。这条路能否走通,湾芯展只是一个观察窗口,真正的答案还在产线和客户验证中。